シリコン中にイオン注入したカリウムの挙動

КОРОЛЬ В М; ЗАСТАВНЫЙ А В

文献

J-GLOBAL ID：201002091972448492 整理番号：77A0370186

シリコン中にイオン注入したカリウムの挙動

Поведение имплантированного в кремний калия.

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巻： 11 号： 8 ページ： 1577-1581 発行年： 1977年
JST資料番号： R0267A ISSN： 0015-3222 CODEN： ETPPA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：旧ソビエト連邦 (SUN) 言語：ロシア語 (RU)

イオン注入でカリウムを注入したシリコンの表面濃度,実効易動度...

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