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J-GLOBAL ID：201002092558687554   整理番号：78A0149140

リソグラフィに応用する非晶質カルコゲンフィルムの光構造変化

Photostructural change of amorphous chalcogenide films applied to lithography.
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著者 (2件)：
MIZUSHIMA Y

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YOSHIKAWA A

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資料名：
Int Conf Integrated Opt Opt Fiber Commun  (Digest of Technical Papers. International Conference on Integrated Optics and Optical Fiber Communication 770718)

Int Conf Integrated Opt Opt Fiber Commun について


ページ： 583-586  発行年： 1977年 
JST資料番号： K19770122  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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リソグラフィー

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