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J-GLOBAL ID:201002094205909599 整理番号:79A0117351
水晶振動子製作用エッチング装置の設計と利用法
Design and implementation of an etch system for production use.
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著者 (1件):
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資料名:
Proc Annu Freq Control Symp (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
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巻:
32nd
ページ:
282-285
発行年:
1978年
JST資料番号:
C0958A
ISSN:
1075-6787
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
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