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J-GLOBAL ID：201002095300722079   整理番号：79A0348839

反応性スパッタリングによる単結晶NaCl上へのCuIの作成と電子顕微鏡及びラザフォード後方散乱による分析

Preparation of CuI films on NaCl single crystals by reactive sputtering and characterization by electron microscopy and Rutherford backscattering.

著者 (2件)： REICHELT K ,  MAIR G
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 16  号： 3  ページ： 896-898  発行年： 1979年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： よう素の分圧を設定した後アルゴンを導入し,10<sup>-2...

シソーラス用語： よう化物 ,...

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タイトルに関連する用語 (7件)： 反応性スパッタリング ,  単結晶 ,  NaCl ,  CUI ,  電子顕微鏡 ,  ラザフォード後方散乱 ,  分析