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J-GLOBAL ID:201002099553716186   整理番号:78A0244190

ひ素スピン-オン拡散源による拡散プロセス

Diffusion processing of arsenic spin-on diffusion sources.
著者 (3件):
資料名:
巻: 21  号:ページ: 39-42  発行年: 1978年 
JST資料番号: E0226A  ISSN: 0038-111X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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