カソードスパッタリングの方法で作った高温超伝導体Nb<sub>3</sub>Ge合金薄膜の性質

ГОЛОВАШКИН А И; ПЕЧЕНЬ Е В

文献

J-GLOBAL ID：201002099866815339 整理番号：79A0267501

カソードスパッタリングの方法で作った高温超伝導体Nb₃Ge合金薄膜の性質

Свойства пленок высокотемпературного сверхпроводящего сплава Nb₃Ge, полученного катодным распылением.

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巻： 21 号： 4 ページ： 1248-1249 発行年： 1979年
JST資料番号： R0029B ISSN： 0015-3249 CODEN： FTVTA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：旧ソビエト連邦 (SUN) 言語：ロシア語 (RU)

アルゴンの純度と最適のスパッタリングの条件との関係が示され,...

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カソードスパッタリングの方法で作った高温超伝導体Nb3Ge合金薄膜の性質

カソードスパッタリングの方法で作った高温超伝導体Nb₃Ge合金薄膜の性質