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文献
J-GLOBAL ID:201002126123341402   整理番号:10A1490341

4H-SiCウエハからエピタキシャル層への欠陥の転写

Replication of defects from 4H-SiC wafer to epitaxial layer
著者 (9件):
資料名:
巻: 389-3  ページ: 447-450  発行年: 2002年
JST資料番号: O6089A  ISSN: 0255-5476  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: その他 (ZZZ)  言語: 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (5件):
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