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J-GLOBAL ID：201002146218368139   整理番号：10A1446940

パワーMEMS(マイクロ電気機械システム)用の窒化ケイ素の3次元マイクロマシニング

Three-dimensional micromachining of silicon nitride for power microelectromechanical systems

著者 (6件)： SUGIMOTO S ,  TANAKA S ,  LI Jf ,  GENDA T ,  WATANABE R ,  ESASHI M
資料名： TRANSUCERS ’01: EUROSENSORS XV, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2
ページ： 1140-1143  発行年： 2001年 
JST資料番号： I20010998  ISBN： 3-540-42150-5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： パワー ,  MEMS ,  電気機械 ,  窒化ケイ素 ,  3次元 ,  マイクロマシニング