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J-GLOBAL ID：201002149348169986   整理番号：10A1191130

SiCミラーのエキシマーレーザ誘起光化学研磨

Excimer laser-induced photochemical polishing of SiC mirror

著者 (1件)： MURAHARA M
資料名： LASER-INDUCED DAMAGE IN OPTICAL MATERIALS: 2001 PROCEEDINGS
ページ： 69-74  発行年： 2002年 
JST資料番号： I20020576  ISSN： 0277-786X  ISBN： 0-8194-4418-9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： SiC ,  ミラー ,  エキシマーレーザ ,  誘起 ,  化学研磨