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J-GLOBAL ID：201002157502581871   整理番号：10A1241868

InGaAs/GaAs歪層超格子のMBE成長における残留応力の二次元分布

Two-dimensional distribution of the residual stress in MBE-grown InGaAs/GaAs strained layer superlattices

著者 (4件)： IIZUKA K ,  WATANABE H ,  KOMATSU M ,  SUZUKI T
資料名： THIN-FILMS - STRESSES AND MECHANICAL PROPERTIES VII
ページ： 451-455  発行年： 1998年 
JST資料番号： I19980627  ISSN： 0272-9172  ISBN： 1-55899-410-6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： InGaAs ,  GaAs ,  歪層超格子 ,  MBE成長 ,  残留応力 ,  分布