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J-GLOBAL ID：201002170447672621   整理番号：10A1238584

位置決めステージの位置と方向を計測する干渉法システム

An interferometric system for measuring position and orientation of a positioning stage

著者 (4件)： JIE Z ,  IWATA K ,  KIKUTA H ,  PARK Cs
資料名： SEVENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER METROLOGY APPLIED TO SCIENCE, INDUSTRY, AND EVERYDAY LIFE, PTS 1 AND 2
ページ： 304-311  発行年： 2002年 
JST資料番号： I20020937  ISSN： 0277-786X  ISBN： 0-8194-4686-6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： ステージ ,  計測 ,  干渉法