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J-GLOBAL ID：201002201552645950   整理番号：10A1054005

ミクロ構造化したゴム誘電体層による高感度フレキシブル圧力センサー

Highly sensitive flexible pressure sensors with microstructured rubber dielectric layers

著者 (9件)： MANNSFELD Stefan C.B. (Stanford Univ., California, USA) ,  TEE Benjamin C-K. (Stanford Univ., California, USA) ,  STOLTENBERG Randall M. (Stanford Univ., California, USA) ,  CHEN Christopher V.H-H. (Stanford Univ., California, USA) ,  BARMAN Soumendra (Stanford Univ., California, USA) ,  MUIR Beinn V.O. (Stanford Univ., California, USA) ,  SOKOLOV Anatoliy N. (Stanford Univ., California, USA) ,  REESE Colin (Stanford Univ., California, USA) ,  BAO Zhenan (Stanford Univ., California, USA)
資料名： Nature Materials  (Nature Materials)
巻： 9  号： 10  ページ： 859-864  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： W1364A  ISSN： 1476-1122  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 触感を有するフレキシブルで伸縮性のある電子皮膚の開発は人工装具あるいはロボットの分野で期待されている。本研究では,これまでに無い感度と応答時間の短い,容量性のフレキシブルセンサーを作製した。パターン化したSi鋳型にポリジメチルシロキサン(PDMS)を埋め込み,その上にITO/PETを蒸着後,鋳型から剥がすことによって,PDMSマイクロ構造を作製した。さらに,PDMSを活性層とした電界効果トランジスター(FET)を形成し,圧力によるキャパシタンス変化を検知する集積化したセンサー膜を作製した。応答時間と感度の評価を行った結果,これまでの値に比べ5倍大きい0.55kPa^-1および数ケタ速いミリ秒オーダーの応答時間を達成した。

シソーラス用語： ロボット ,  *人工皮膚 ,  圧力センサ ,  *触覚センサ ,  誘電体 ,  *ポリシロキサン ,  シリコーン樹脂 ,  アレイ ,  高分子加工 ,  FET【トランジスタ】 ,  静電容量 ,  応答時間 ,  複合膜 ,  *人工臓器 ,  *装置 ,  *生体代行装置 ,  *センサ

分類 (3件)： 筋骨格系・皮膚モデル  (EL02040R) ,  その他の産業機械・機器  (QE05030S) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミクロ構造 ,  ゴム ,  高感度 ,  圧力センサー