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J-GLOBAL ID：201002202020339858   整理番号：10A0422250

高周波プラズマ増強化学蒸着法で作製したダイヤモンド的カーボンの磁化特性と水素含有量の関係

Relationship between hydrogen content and magnetic properties of diamondlike carbon produced by the rf plasma-enhanced chemical vapor deposition method

著者 (3件)： SAITO Tetsuji (Dep. of Mechanical Sci. and Engineering, Chiba Inst. of Technol., 2-17-1 Tsudanuma, Narashino, Chiba 275-0016, JPN) ,  TERASHIMA Keiichi (Dep. of Mechanical Sci. and Engineering, Chiba Inst. of Technol., 2-17-1 Tsudanuma, Narashino, Chiba 275-0016, JPN) ,  UTSUSHIKAWA Yoshio (Coll. of Industrial Technol., Nihon Univ., 1-2-1 Izumicho, Narashino, Chiba 275-8575, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 107  号： 7  ページ： 073522  発行年： 2010年04月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波プラズマ増強化学蒸着法でダイヤモンド的カーボン(DLC)膜をシリコンウエハ基板上に作製した。DLC膜は500Wの高周波パワーを用いて作製した場合には強磁性を示したが,900Wの場合は反磁性であった。電子スピン共鳴を測定したところ,強磁性膜のスピン密度は反磁性膜よりかなり高かった。ラマンおよびXPS測定では両者に違いは見られなかったが,弾性リコイル検出解析(ERDA)の結果,水素量の違いが明らかになり,強磁性膜の水素量は反磁性膜より30%高かった。従って,強磁性膜の磁化の起源は水素含有量の違いによるものと思われる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *DLC膜 ,  *磁化特性 ,  基板 ,  ケイ素 ,  *強磁性 ,  スピン密度 ,  磁性薄膜 ,  Ramanスペクトル ,  *水素 ,  *含有量

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高周波 ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  作製 ,  ダイヤモンド ,  カーボン ,  磁化特性 ,  水素 ,  含有量