窒化炭素膜のトライボロジー特性に及ぼす紫外線照射の影響

野老山貴行; 梅原徳次; 神谷真人; 不破良雄

文献

J-GLOBAL ID：201002203327475305 整理番号：10A0978579

窒化炭素膜のトライボロジー特性に及ぼす紫外線照射の影響

The Effect of Ultraviolet Ray Irradiation on Tribological Property of Carbon Nitride Coating

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資料名：
巻： 55 号： 9 ページ： 659-665 発行年： 2010年09月15日
JST資料番号： F0390A ISSN： 0915-1168 CODEN： TORAEO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

本研究では窒化炭素(CNx)膜の摩擦特性に及ぼす紫外線照射の影響を解明するため,紫外線照射後乾燥窒素中および大気中紫外線照射下で摩擦試験をした。膜に含有する窒素量は0,9,12,および19%とし,365,312,および254nmの波長の紫外線照射がCNx膜の摩擦特性に及ぼす影響を明らかにした。これにより得た主な知見を次に示した。1)オージェ電子分光装置(AES)分析の結果,紫外線照射によりCNx膜表面から窒素が脱離する条件が存在すること,2)X線光電子分光装置(XPS)分析の結果,紫外線照射によりCNx膜の表面の結晶構造が変化すること,3)窒素雰囲気中摩擦で,紫外線をCNx膜に照射した結果,摩擦係数が0.05以下,かつ摩擦係数の変動幅が0.02以下となるまでのなじみ期間が短縮すること,4)窒素雰囲気中摩擦で,紫外線照射によりCNx膜の5000~10000cyclesでの平均摩擦係数が未照射に比べて減少すること,5)大気中紫外線照射下での摩擦で,紫外線照射によりCNx膜の20000~25000cyclesでの平均摩擦係数は減少すること,特にCN_0.12膜では,365および254nmの紫外線照射により,それぞれ0.07および0.08の低い摩擦係数が得られることなど。

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その他の無機化合物の薄膜 , 潤滑一般 , 炭素とその化合物

引用文献 (11件)：

KHURSHUDOV, A. Tribological and Mechanical Properties of Carbon Nitride Thin Coating Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition. Tribology Letters. 1996, 2, 1, 13
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UMEHARA, N. Nitrogen Lubricated Sliding between CNx Coatings and Ceramic Balls. Proceedings of the International Tribology Conference, Nagasaki, October, 2000. 2000, 1007
TOKOROYAMA, T. Measurement of Adhesive and Shearing Strength on the Surface Layer of CNx Coating with Micro Scratch. Proceedings of International Conference on Manufacturing Machine Design and Tribology, Seoul, Jun, 2005. 2005
TOKOROYAMA, T. Effect of Nitrogen Atoms Desorption on the Friction of the CNx Coating against Si_3N_4 Ball in Nitrogen Gas. Tribology Letters. 2006, 22, 3, 215

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