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J-GLOBAL ID：201002206125812090   整理番号：10A1182740

スクリーン印刷と湿式エッチングによる圧電厚膜アクチュエータの作製

Preparation of piezoelectric thick film actuator by screen printing and wet etching

著者 (4件)： FUTAKUCHI T ,  SAKAI Y ,  IIJIMA T ,  ADACHI M
資料名： ELECTROCERAMICS IN JAPAN VIII
ページ： 45-48  発行年： 2005年 
JST資料番号： I20050382  ISSN： 1013-9826  ISBN： 0-87849-982-2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： スクリーン印刷 ,  湿式エッチング ,  圧電 ,  厚膜 ,  アクチュエータ ,  作製