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J-GLOBAL ID：201002207428389367   整理番号：10A1296669

CNOS互換材料とプロセスを使用した3Vで動作する圧電RF MEMS可変キャパシタ

Piezoelectric RF MEMS tunable capacitor with 3V operation using CMOS compatible materials and process

著者 (5件)： KAWAKUBO T ,  NAGANO I ,  NISHIGAKI M ,  ABE K ,  ITAYA K
資料名： IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING 2005, TECHNICAL DIGEST
ページ： 303-306  発行年： 2005年 
JST資料番号： I20050536  ISBN： 0-7803-9268-X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： プロセス ,  圧電 ,  RF ,  MEMS ,  可変キャパシタ