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J-GLOBAL ID：201002210024970580   整理番号：10A1445491

集中電子ビームによる金属ナノ構造の位置制御製造

Position controlled fabrication of metal nanostructures with focused electron beam

著者 (6件)： FURUYA K ,  SHIMOJO M ,  TAKEGUCHI M ,  SONG M ,  MITSUISHI K ,  TANAKA M
資料名： TMS 2008 ANNUAL MEETING SUPPLEMENTAL PROCEEDINGS, VOL I: MATERIALS PROCESSING AND PROPERTIES
ページ： 105-110  発行年： 2008年 
JST資料番号： I20080686  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子ビーム ,  金属ナノ構造 ,  位置制御