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J-GLOBAL ID：201002211895013785   整理番号：10A1605868

感圧色素を用いたマイクロスケール気体流れの計測

著者 (6件)： 見崎亮太 (名大 院) ,  松田佑 (名古屋大 工) ,  鈴木卓 (名大 院) ,  山口浩樹 (名古屋大 工) ,  江上泰広 (愛工大 工) ,  新美智秀 (名古屋大 工)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2010  号： Vol.8  ページ： 107-108  発行年： 2010年09月04日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSに代表されるマイクロスケールの構造を有するデバイスの高効率化のためには,気体分子個々の挙動を考慮した分子レベルの計測手法が必要となる。そのような計測手法の一つに,酸素分子と色素分子の相互作用(酸素消光)に基づいた感圧塗料(PSP)がある。膜厚や表面粗さ等の問題から,PSPのマイクロ領域への適用は困難とされてきたが,本研究では色素分子を混合したPDMS樹脂を用いて,それ自身が圧力感度を持つマイクロ流路を開発し,マイクロノズル近傍の圧力分布計測を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： 塗料 ,  *気体流 ,  *計測 ,  MEMS ,  分子 ,  混合 ,  ポリジメチルシロキサン ,  チャネル ,  ノズル ,  流れ場 ,  圧力測定 ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： *マイクロスケール気体流 ,  マイクロノズル ,  マイクロ流路 ,  圧力分布計測 ,  感圧色素 ,  *感圧塗料 ,  高Knudsen数流 ,  色素分子

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧 ,  色素 ,  マイクロスケール ,  気体流れ ,  計測