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J-GLOBAL ID:201002212644377113   整理番号:10A0113957

1D周期層を含む多層膜交差回折格子での高速回折計算スキーマ

Fast diffraction computation schema for multilayer crossed gratings containing layers with 1D periodicity
著者 (1件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 116  発行年: 2010年01月 
JST資料番号: C0327B  ISSN: 1084-7529  CODEN: JOAOD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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交差回折格子の回折計算は,Chandezon座標変換または厳密結合波解析(RCWA)などのモード法を用いた場合,同じサイズの線間隔格子と比較される。C方法の場合,計算速度での主なボトルネックは,RCWAのスライスや界面ごとの固有値問題の解である。周期層を一方向だけに含む交差回折格子であっても,完全システム解に接続するためには,周期層の完全2D問題を解析しなければならない。本論文では,2D多層膜格子内の層の1D周期性を利用する計算スキーマを提示した。このスキーマは,周期層の固有値問題の解析と定式化を大幅に加速した。この計算スキーマを用いて,1D層と2D層のスタックの解析に必要な全計算時間を顕著に低減した。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
光デバイス一般  ,  光の散乱,回折,干渉 

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