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J-GLOBAL ID：201002212821099307   整理番号：10A1019464

自己組織化周期構造生成の観察と構造評価

Observation of a self-assembled periodic micro-structure processing and the fabricated structure evaluation

著者 (5件)： 宮崎康次 (九州工大) ,  ZHENG Yanqiong (LifeBEANSセンター九州) ,  久保脇勇貴 (九州工大) ,  池町希 (九州工大) ,  中野僚太 (九州工大)
資料名： 可視化情報学会誌  (可視化情報)
巻： 30  号： Suppl.2  ページ： 133-134  発行年： 2010年10月15日 
JST資料番号： S0973B  ISSN： 0916-4731  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細加工技術の進展により微細周期構造による熱放射特性や熱伝導率等の特性の制御が可能になったが近年はその実用化を見据えて微細周期構造を大面積で製作することが大きな課題になっている。そこで2種類の自己組織化プロセスで異なる微細周期構造を大面積で作製してプロセスを顕微鏡観察すると共に構造制御に必要なパラメータを調べた。更にそれぞれ作製したサンプルの周期性をフーリエ変換や光の干渉により評価した。シリカ微小球を分散させた溶剤をマイクロシリンジで水面に微小量滴下してシリカ微小膜の単層膜をSi基板上に一層ずつ積層して周期構造を作製した。輝点の形から構造周期や周期構造の結晶性評価を可能とすると共に周期構造の質を高めるためのプロセス条件も考察した。

シソーラス用語： *自己組織化 ,  *周期構造 ,  微細加工 ,  熱放射 ,  熱伝導率 ,  顕微鏡観察 ,  *パラメータ ,  Fourier変換 ,  光干渉 ,  自己組織系 ,  単分子層 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  自己組織化膜

分類 (2件)： 固-固界面  (CB12060M) ,  非金属元素とその化合物の結晶構造  (BK07010N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 自己組織化 ,  周期構造 ,  観察 ,  構造評価