文献

J-GLOBAL ID：201002214725709849   整理番号：10A1607711

対向ターゲット共スパッタリング系でポリマー基板に蒸着したIn-Zn-Sn-O薄膜の電気的と光学的性質

Electrical and optical properties of In-Zn-Sn-O thin film deposited on polymer substrates through facing targets co-sputtering system

著者 (5件)： KIM Dae-hyun ,  KIM Woo-jae ,  PARK Sang Joon ,  CHOI Hyung Wook ,  KIM Kyung-hwan
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： Supplement 1  ページ： S324-S327  発行年： 2010年12月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フレキシブルディスプレイの透明電極として使用される酸化インジウム亜鉛スズ(IZTO)薄膜をポリカーボネート(PC),ポリエーテルスルホン(PES)及びガラス基板に室温で対向ターゲットスパッタリング(FTS)により蒸着した。二つのターゲットシートをFTSシステムに取り付け,ターゲットの一つはIZOで,他はITOである。結果として,電気抵抗が10^-4Ωcm以下のIZTO薄膜が得られ,PC,PES及びガラス基板に蒸着したIZTO薄膜は,純Arガスを充填したチャンバ内で蒸着したIZTO薄膜を除く全てのIZTO薄膜は可視光領域(400~800nm)で80%以上の透過率を示した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *亜鉛化合物 ,  *酸化物 ,  *スズ化合物 ,  *インジウム化合物 ,  *蒸着膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  *同時蒸着 ,  ポリカーボネート ,  ポリエーテルスルホン ,  基板 ,  ガラス ,  *透明電極 ,  フラットパネルディスプレイ ,  フレキシブル基板 ,  透過率 ,  光透過 ,  セラミック被覆
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  フレキシブルディスプレイ ,  *共スパッタリング ,  光透過率 ,  *酸化インジウムスズ亜鉛 ,  対向ターゲットスパッタリング

分類 (3件)： 非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K) ,  表面処理  (YH04112X) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (8件)： ターゲット ,  共スパッタリング ,  ポリマー ,  蒸着 ,  Zn ,  Sn ,  薄膜 ,  光学的性質