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J-GLOBAL ID：201002214759746000   整理番号：10A1194369

弾性体で被覆された傾斜微小カンチレバーを用いた標準およびせん断応力高感度触覚センサの製作と特性化

Fabrication and characterization of normal and shear stresses sensitive tactile sensors by using inclined mcro-cantilevers covered with elastomer

著者 (8件)： SOHGAWA M ,  HUANG Ym ,  NODA M ,  KANASHIMA T ,  YAMASHITA K ,  OKUYAMA M ,  IKEDA M ,  NOMA H
資料名： MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES
ページ： 151-156  発行年： 2008年 
JST資料番号： I20080423  ISSN： 0272-9172  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (9件)： 弾性体 ,  微小 ,  カンチレバー ,  標準 ,  せん断応力 ,  高感度 ,  触覚センサ ,  製作 ,  特性化