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J-GLOBAL ID：201002214788310466   整理番号：10A0444882

ナノ規模の観測

Probing the Nanoscale

著者 (1件)： COOK Robert F. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名： Science  (Science)
巻： 328  号： 5975  ページ： 183-184  発行年： 2010年04月09日 
JST資料番号： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小およびナノ機械的システム(MEMSおよびNEMS)に基づく大部分のデバイスは,弾性的に機械的に機能するよう設計されているので,最も重要な機械的性質は弾性係数である,最大の空間分解能を与える技法は,接触共鳴原子間力顕微鏡法(CR-AFM)である。他の機械的性質は,デバイスが耐え,機能しうる荷重に限界を規定する。組成変形への材料の耐性の測定に対して,最大の分解能を与えるのはナノインデンテーションである。ナノインデンテーション技法はまた粘弾性性質を測定するために開発された。過去20年間にナノ機械的観測の巨大な進歩が見られたが,二つの挑戦が残っている。第一の挑戦は脆性材料と破壊である。その場で破壊性質を決定する方法は,MEMSおよびNEMSデバイスの信頼性および商品化を改善するうえで明白な利点である。第二の挑戦は,測定できる流体相を含む生体および他のゲル様材料である。細孔弾性系に対するナノ機械的プローブの開発は人工組織と生物医学の急速な発展を可能にすると結論した。

シソーラス用語： *MEMS ,  観測 ,  *固体素子 ,  弾性係数 ,  プローブ ,  *原子間力顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  ナノインデンテーション ,  粘弾性 ,  脆性 ,  脆性破壊
準シソーラス用語： *NEMS ,  接触共鳴原子間力顕微鏡

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 規模 ,  観測