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J-GLOBAL ID：201002214974118729   整理番号：10A0457262

銀ナノ粒子分散膜のレーザ誘起熱分解による可撓性ポリイミド膜への伝導性銀微細パターンの直接描画

Direct writing of conductive silver micropatterns on flexible polyimide film by laser-induced pyrolysis of silver nanoparticle-dispersed film

著者 (3件)： AMINUZZAMAN Mohammod (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WATANABE Akira (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MIYASHITA Tokuji (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Journal of Nanoparticle Research  (Journal of Nanoparticle Research)
巻： 12  号： 3  ページ： 931-938  発行年： 2010年 
JST資料番号： W1361A  ISSN： 1388-0764  CODEN： JNARFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インクジェット印刷は高分子膜上に伝導性の金属パターンを形成するのに有用な技術であるが,その分解能,すなわち得られるパターンの線幅は空気抵抗による微細液滴の拡散のため50~100μmに制限される。著者たちはより狭い線幅や,より高い印刷速度などを実現できる方法として,レーザ熱分解による方法を提案した。この研究では溶液に分散したAgナノ粒子から作製した前駆体膜のレーザ誘起熱分解により,可撓性ポリイミド(PI)膜上に伝導性で高度に接着性のよいAg微細パターンを形成することに成功した。用いたナノメタルインクは平均寸法4.5nmのAgナノ粒子から成り,これをテトラデカン溶媒中に分散させた。このナノメタルインクをスピン塗布法によってPI膜上に塗布し,Agナノ粒子分散膜を作製した。この前駆体膜にArイオンレーザビームを対物レンズを通して焦点を合わせ,面上を走査して微細パターンを描画した。Ag微細パターンの線幅は対物レンズ,レーザ強度及びレーザビームの走査速度を変えることにより制御することができ,100×の対物レンズを用いると約6μmのパターン線幅が得られた。この方法は有機発光ダイオード,有機薄膜トランジスタ及び太陽電池のようなフレキシブル・エレクトロニクスデバイスの生産に有望である。

シソーラス用語： *パターン形成 ,  *ポリイミド ,  高分子膜 ,  導電性 ,  柔軟性 ,  *レーザ加熱 ,  ナノ粒子 ,  分散粒子 ,  *銀 ,  *電気抵抗率 ,  電子顕微鏡観察 ,  電子部品 ,  レーザリソグラフィー ,  金属ナノ粒子 ,  *ミクロパターン形成
準シソーラス用語： レーザ直接描画 ,  *微細パターン形成

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 銀ナノ粒子 ,  レーザ誘起 ,  熱分解 ,  可撓性 ,  ポリイミド膜 ,  銀 ,  微細パターン ,  直接描画