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J-GLOBAL ID：201002215033226640   整理番号：10A0089181

化学蒸着によって成長させたパリレン薄膜の紫外線活性化の下での気相表面官能化

Vapor phase surface functionalization under ultra violet activation of parylene thin films grown by chemical vapor deposition

著者 (3件)： SANTUCCI Virginie (CIRIMAT, CNRS/INPT/UPS, ENSIACET, 4 allee Emile Monso, BP 44362, 31432 Toulouse cedex 4, FRA) ,  MAURY Francis (CIRIMAT, CNRS/INPT/UPS, ENSIACET, 4 allee Emile Monso, BP 44362, 31432 Toulouse cedex 4, FRA) ,  SENOCQ Francois (CIRIMAT, CNRS/INPT/UPS, ENSIACET, 4 allee Emile Monso, BP 44362, 31432 Toulouse cedex 4, FRA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 518  号： 6  ページ： 1675-1681  発行年： 2010年01月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 可視域で良好な光学的性質を維持しつつパリレンC薄膜の濡れ性向上を目的とする表面官能化ドライプロセスとして様々な反応性気相処理を研究した。薄膜は化学蒸着により異なる基板上に300nmから1630nmの厚さの範囲で成長させた。この高分子表面をHe,H₂,H₂O₂,O₂,大気を含む反応性雰囲気中で254nmの紫外(UV)照射の下で処理した。UV/O₂処理によって,水との接触角が100°から6°に減少し,その一方で透過率は可視波長で90%に留まったことから,最も有効であった。更にこれは長時間安定性も示した。官能化機構を先行する報告との関係で議論した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ポリキシリレン ,  高分子薄膜 ,  *化学蒸着 ,  薄膜成長 ,  透明材料 ,  *紫外線照射 ,  活性化 ,  官能化 ,  *濡れ ,  接触角 ,  *透過率 ,  光学定数 ,  酸素 ,  X線光電子スペクトル ,  紫外可視吸収スペクトル ,  赤外吸収スペクトル ,  被覆
準シソーラス用語： FTIRスペクトル ,  *光学コーティング

分類 (3件)： 高分子固体のその他の性質  (CG02025L) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (8件)： 化学蒸着 ,  成長 ,  パリレン ,  薄膜 ,  紫外線 ,  活性化 ,  気相 ,  表面官能化