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J-GLOBAL ID：201002215146793982   整理番号：10A0947132

固着故障MEMS装置に対するモードI及びモードIとII混合測定

MODE I AND MIXED MODE I AND II MEASUREMENTS FOR STICTION FAILED MEMS DEVICES
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著者 (3件)：
KASHAMOLLA Maheshwar R.

KASHAMOLLA Maheshwar R. について

(Univ. New Mexico, New Mexico)

Univ. New Mexico, New Mexico について

, 
MOUSAVI Arash K.

MOUSAVI Arash K. について

(Univ. New Mexico, New Mexico)

Univ. New Mexico, New Mexico について

, 
LESEMAN Zayd C.

LESEMAN Zayd C. について

(Univ. New Mexico, New Mexico)

Univ. New Mexico, New Mexico について


資料名：
Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition  (Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition)

Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition について


巻： 2009  号： Vol.12 Pt.A  ページ： 25-31  発行年： 2010年 
JST資料番号： W2290A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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故障

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, 
MEMS装置

MEMS装置 について


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