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J-GLOBAL ID:201002215457732138   整理番号:10A0610630

化学リソグラフィーを用いる超薄多重層集合体の生成

Formation of Multilayer Ultrathin Assemblies Using Chemical Lithography
著者 (2件):
資料名:
巻: 26  号: 11  ページ: 8441-8449  発行年: 2010年06月01日 
JST資料番号: A0231B  ISSN: 0743-7463  CODEN: LANGD5  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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金表面に吸着したアルカンチオール自己組織化単分子層(SAM),またはパターン化SAMの官能基を利用して共有結合により表面を官能化する方法を検討した。アミドカップリング法は表面カルボキシル基をN-エチル-N′-(3-(ジメチルアミノ)プロピル)カルボジイミドHCl(EDC)およびペンタフルオロフェノールにより活性化し,N-Boc-1,6-ジアミノヘキサンによりアミノ末端に変え,8-(Boc-アミノ)オクタン酸と反応させる。オキシムカップリングは表面アルデヒド基を2-(9-アミノオキシノニル)-1,3-ジオキソランと反応させる。飛行時間型二次イオン質量分析によりキャラクタリゼーションを行った。アミド,オキシムカップリングによる第一層収率は各67%および84%である。第二層収率はいずれも100%であった。
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  有機化合物の薄膜  ,  固-液界面 
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