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J-GLOBAL ID：201002215539478418   整理番号：10A1067504

空気圧ベローズを用いた微動ステージの超精密位置決め制御

著者 (1件)： 藤田壽憲 (東京電機大 工)
資料名： 油空圧技術  (Hydraulics & Pneumatics)
巻： 49  号： 12  ページ： 53-57  発行年： 2010年11月01日 
JST資料番号： G0877A  ISSN： 0914-6253  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体産業におけるナノメータレベルの超精密位置決めの需要に対応するため,空気圧ベローズを用いた,変位の大きい微動ステージを紹介した。本微動ステージは圧電素子で駆動する弾性ヒンジ案内の微動ステージを空気圧ベローズで置き換え,フィードバック制御により超精密位置決めを行った。実験の結果,空気圧ベローズにより位置センサの精度と同程度の10ナノオーダーの超精密位置決め制御を達成した。その上でストロークは300kPaの供給圧力時に263μmとなり,圧電素子駆動微動ステージの10倍以上を実現できた。

シソーラス用語： *ベローズ ,  空気圧機器 ,  微動 ,  *テーブル【機械要素】 ,  *制御 ,  半導体工業 ,  ナノテクノロジー ,  フィードバック制御 ,  長さ ,  アルゴリズム
準シソーラス用語： *位置決め制御 ,  ストローク【長さ】 ,  制御アルゴリズム

分類 (1件)： その他の機械要素  (QB01120F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 空気圧 ,  ベローズ ,  微動 ,  ステージ ,  精密位置決め