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J-GLOBAL ID:201002215555682874   整理番号:10A0544798

抗生物汚損被覆としてのシロキサン被覆の特性最適化:PACVDおよびPACVD-PVD混成被覆の比較

Optimisation of the properties of siloxane coatings as anti-biofouling coatings: Comparison of PACVD and hybrid PACVD-PVD coatings
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巻: 204  号: 20  ページ: 3188-3195  発行年: 2010年07月15日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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プラズマ支援化学蒸着(PACVD)によるヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)とO2の混合物を用いたシロキサン被覆とケイ素の同時スパッタリングとHMDSO+O2のプラズマ重合によるハイブリッド被覆をガラス基板および鋼基板に被覆した。異なるHMDSO/O2比の被覆に対するスパッタシリコン添加の効果について観察した。被覆の微細構造よび組成は被覆条件により影響を受けた。すべての被覆についてシリコン含有量はほぼ同じであったが,ハイブリッド被覆ではHMDSO/O2比の低下と共にカーボン含有量が減少し,一方では酸素含有量および表面エネルギーは増加した。硬度および弾性係数はハイブリッド被覆が高く,HMDSO/O2比の低下と共に増加した。ハイブリッド被覆はPACVD被覆より優れた引かき抵抗および耐摩耗性を示した。すべての被覆は真水バクテリアPseudomonas fluorescensに対し優れた反付着挙動を示した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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ガラス・セラミック被覆一般 
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