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J-GLOBAL ID：201002215586802967   整理番号：10A0853997

磁歪基板上のセミアディティブ平面コイルの自己共振Q値の導体幅非依存の場合

Conductor Width Independence Case of the Self-Resonance Quality Factor of Semiadditive Planar Coils on a Magnetostrictive Substrate

著者 (9件)： MARSCHNER U. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  JAHN A. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  STARKE E. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  LIU N. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  VOGEL U. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  WENZEL C. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  MERKEL U. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  FLATAU A. B. (Univ. Maryland, MD, USA) ,  FISCHER W.-J. (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7647  号： Pt.2  ページ： 76472R.1-76472R.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 実験に使用したセンサはGa-Fe合金により薄膜技術で作成した。Siウェハ上に3個のGalfenol層をスパッタし,うず電流防止のために分離層を用いた。銅のコイルをその上にセミアディティブ法で形成した。種々のターン数のコイルを作成したが,線間ギャップと高さは各々20μm及び10μmに固定した。周波数100kHzで22ターンコイルの例ではGalfenol層によりLは10.3%増加した。外径寸法と線間ギャップを固定しているので,ターン数が変ると線幅は変化する。自己共振周波数,表皮効果,近接効果,L,Cについて考察した。Lの理論値と測定値はよく一致した。ターン数を7から22に増すとLは7.9倍になる。

シソーラス用語： *センサ ,  磁歪 ,  *曲げ ,  共振 ,  Q値 ,  独立性 ,  表皮効果 ,  近接効果 ,  *薄膜インダクタ
準シソーラス用語： *曲げセンサ ,  *平面コイル ,  非依存

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 磁歪 ,  平面コイル ,  自己 ,  共振 ,  Q値 ,  導体 ,  非依存