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J-GLOBAL ID：201002215754012489   整理番号：10A0422117

ナノ複合体膜の動的平坦化

Dynamic smoothing of nanocomposite films

著者 (6件)： PEI Y. T. (Dep. of Applied Physics, Materials Innovation Inst. (M2i), Univ. of Groningen, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  TURKIN A. A. (National Sci. Center “Kharkov Inst. of Physics & Technology”, 1 Akademicheskaya str., UA-61108 Kharkov, UKR) ,  CHEN C. Q. (Dep. of Applied Physics, Materials Innovation Inst. (M2i), Univ. of Groningen, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  SHAHA K. P. (Dep. of Applied Physics, Materials Innovation Inst. (M2i), Univ. of Groningen, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  VAINSHTEIN D. (Dep. of Applied Physics, Materials Innovation Inst. (M2i), Univ. of Groningen, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  DE HOSSON J. Th. M. (Dep. of Applied Physics, Materials Innovation Inst. (M2i), Univ. of Groningen, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 96  号： 15  ページ： 151910  発行年： 2010年04月12日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜の成長において通常動的な表面粗さが観測されるのとは異なり,ダイアモンドライクカーボンのナノ複合(TiC/a-C)膜の厚さ1.5μmまでの成長において,動的な平坦化を観測した。Edward-WilkinsonモデルおよびMullinsモデルに基づき解析と数値シミュレーションを行い,動的平坦化の界面の発達に対する拡散パラメータおよびノイズ強度の影響を可視化した。計算結果は測定されたラフネスの発達とよく一致した。高分解電子顕微鏡を用いて観察した結果,最初の2nm厚さのアモルファス相の形成が動的成長に及ぼすナノ結晶の影響を排除していることがわかった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ複合材料 ,  *DLC膜 ,  *炭化チタン ,  *炭素材 ,  *平坦性 ,  計算機シミュレーション ,  数学モデル ,  *表面粗さ ,  *スパッタ蒸着 ,  基板 ,  ケイ素
準シソーラス用語： *非晶質炭素 ,  平坦化 ,  動的平坦化

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (2件)： 複合体膜 ,  平坦化