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J-GLOBAL ID：201002215877954284   整理番号：10A0503304

パルスレーザ蒸着によるチタン酸バリウムストロンチウム(BST)薄膜のpH感受性特性

pH-sensitive properties of barium strontium titanate (BST) thin films prepared by pulsed laser deposition technique

著者 (11件)： BUNIATYAN Vahe V. (State Engineering Univ. Armenia, Yerevan, ARM) ,  BUNIATYAN Vahe V. (Aachen Univ. Applied Sci., Juelich, DEU) ,  ABOUZAR Maryam H. (Aachen Univ. Applied Sci., Juelich, DEU) ,  ABOUZAR Maryam H. (Res. Centre Juelich GmbH, Juelich, DEU) ,  MARTIROSYAN Norayr W. (State Engineering Univ. Armenia, Yerevan, ARM) ,  SCHUBERT Juergen (Res. Centre Juelich GmbH, Juelich, DEU) ,  GEVORGIAN Spartak (Chalmers Univ. Technol., Gothenburg, SWE) ,  SCHOENING Michael J. (Aachen Univ. Applied Sci., Juelich, DEU) ,  SCHOENING Michael J. (Res. Centre Juelich GmbH, Juelich, DEU) ,  POGHOSSIAN Arshak (Aachen Univ. Applied Sci., Juelich, DEU) ,  POGHOSSIAN Arshak (Res. Centre Juelich GmbH, Juelich, DEU)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 207  号： 4  ページ： 824-830  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電解質-絶縁体-半導体システムを基にした電界効果容量(バイオ)化学センサ用のゲート絶縁材料としてチタン酸バリウムストロンチウム(BST)高k薄膜のpH感受性特性を調べた。種々の組成のBST薄膜(Ba_0.31Sr_0.69TiO₃,Ba_0.25Sr_0.75TiO₃及びMgドープBa_0.8Sr_0.2Mg_0.1TiO₃)を,自己伝播高温(SHS)合成法を用いて作製したターゲットからパルスレーザ蒸着によって成膜した。この膜を基にしたセンサを,インピーダンス分光法,容量-電圧及び一定容量法を含む電気化学的に評価した。この結果,センサはNernstian状のpH感受性をpH3~pH11の範囲で有し,応答時間は5~10秒であった。BSTベース容量電界効果センサの等価回路モデルについて議論した。

シソーラス用語： レーザ蒸着 ,  ストロンチウム化合物 ,  チタン酸塩 ,  バリウム化合物 ,  *化学センサ ,  半導体 ,  スペクトロスコピー ,  *容量電圧特性 ,  応答時間 ,  等価回路 ,  モデリング ,  強誘電体 ,  誘電体薄膜 ,  バイオセンサ ,  *pHセンサ ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： SHS【合成】 ,  インピーダンス分光法 ,  *チタン酸バリウムストロンチウム ,  高k誘電体 ,  電気化学的特性

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスレーザ蒸着 ,  チタン酸バリウムストロンチウム ,  BST ,  薄膜 ,  pH感受性