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J-GLOBAL ID：201002216072840807   整理番号：10A1010239

揮発性有機検体用のポーラスシリコンをベースとした光学マイクロセンサ 安定性と選択性に対する表面化学の影響

Porous Silicon-Based Optical Microsensors for Volatile Organic Analytes: Effect of Surface Chemistry on Stability and Specificity

著者 (5件)： RUMINSKI Anne M. (Univ. California, CA, USA) ,  KING Brian H. (Univ. California, CA, USA) ,  SALONEN Jarno (Univ. Turku, Turku, FIN) ,  SNYDER Jay L. (NIOSH/NPPTL, PA, USA) ,  SAILOR Michael J. (Univ. California, CA, USA)
資料名： Advanced Functional Materials  (Advanced Functional Materials)
巻： 20  号： 17  ページ： 2874-2883  発行年： 2010年09月09日 
JST資料番号： W1336A  ISSN： 1616-301X  CODEN： AFMDC6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポーラスシリコンの誘電率および光学特性はポア中の吸着分子に敏感であることが知られており,この現象のセンサーへの応用が期待されている。本研究では,1次元フォトニック結晶を作製し,吸着分子による共鳴波長のシフトを検出するセンサーを作製した。オゾン酸化,熱酸化,ヒドロシリル化,電気化学的メチル化,ジクロロジメチルシランとの反応およびアセチレン炭化を施し,センシング特性に対する影響を調べた。熱酸化およびジクロロジメチルシランで修飾した場合に空気中で最も安定なセンサーが得られた。空気中のイソプロピルアルコール(IPA)およびヘプタンといった揮発性有機化合物(VOCs)を50~800ppmの濃度範囲で検出できることを明らかにした。また,光ファイバーとの組み合わせでファイバー状センサーも開発した。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  光ファイバセンサ ,  *ケイ素 ,  多孔質体 ,  表面改質 ,  揮発性有機化合物 ,  共振 ,  周波数シフト ,  感度 ,  能力 ,  脂肪族アルコール ,  アルカン ,  *フォトニック結晶
準シソーラス用語： 検出感度

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

物質索引 (2件)： イソプロピルアルコール ,  ヘプタン

タイトルに関連する用語 (7件)： 揮発性 ,  検体 ,  ポーラスシリコン ,  光学 ,  マイクロセンサ ,  安定性 ,  表面化学