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J-GLOBAL ID：201002216173593185   整理番号：10A0516133

ZnO表面弾性波アンモニアセンサの交差感度及び選択性研究

Cross-sensitivity and selectivity studies on ZnO surface acoustic wave ammonia sensor

著者 (6件)： RAJ V. Bhasker (Electronic Materials and Devices Lab., Dep. of Physics and Astrophysics, Univ. of Delhi, Delhi 110007, IND) ,  NIMAL A.t. (Solid State Physics Lab., Lucknow Road, Timarpur, Delhi 110054, IND) ,  PARMAR Yashoda (Solid State Physics Lab., Lucknow Road, Timarpur, Delhi 110054, IND) ,  SHARMA M.u. (Solid State Physics Lab., Lucknow Road, Timarpur, Delhi 110054, IND) ,  SREENIVAS K. (Electronic Materials and Devices Lab., Dep. of Physics and Astrophysics, Univ. of Delhi, Delhi 110007, IND) ,  GUPTA Vinay (Electronic Materials and Devices Lab., Dep. of Physics and Astrophysics, Univ. of Delhi, Delhi 110007, IND)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 147  号： 2  ページ： 517-524  発行年： 2010年06月03日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究ではアンモニアセンサとしてZnO被覆ワンポート表面弾性波(SAW)共振器を用いた。普通に入手可能な揮発性有機化合物(VOC)/ガスとのセンサの交差感度を分析した。アンモニアの存在が他の残りVOC/ガスから識別できることによる興味深い特徴を観測した。センサの差分周波数シフト(Δf)が液体アンモニアに対して正で,他の残りに対しては負であった。さらに,水蒸気の存在下のアンモニアに対するΔfが正であることを見出した。センサは良好な感度,選択性,可逆性及び再現性を有した。電気装荷,弾性負荷及び質量負荷などの可能性のある検出機構を考慮することにより結果を分析した。それらの結果はアンモニアの効率良い選択性検出向けにZnO被覆センサを利用する可能性を示唆した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *弾性表面波素子 ,  *ガスセンサ ,  化学センサ ,  *アンモニア ,  *酸化亜鉛 ,  認識 ,  周波数シフト ,  選択性 ,  感受性 ,  再現性 ,  可逆変化 ,  濃度依存性 ,  揮発性有機化合物 ,  水素 ,  一酸化窒素
準シソーラス用語： 検出機構 ,  *表面弾性波センサ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (7件)： ZnO ,  表面弾性波 ,  アンモニア ,  交差 ,  感度 ,  選択性 ,  研究