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J-GLOBAL ID：201002216216389609   整理番号：10A0449930

セレンの混合源を用いたCdSeの等温閉鎖空間昇華成長について

On the isothermal closed space sublimation growth of CdSe using a mixed source for selenium

著者 (8件)： LARRAMENDI Erick M. (Physics Fac. - ICTM, Univ. of Havana, Colina Universitaria, C.P. 10400, Havana, Cuba) ,  LARRAMENDI Erick M. (Technische Universitaet Berlin, Inst. fuer Optik und Atomare Physik, Strasse des 17. Juni 135, D-10623 Berlin, DEU) ,  LARRAMENDI Erick M. (Dep. Physik, Universitaet Paderborn, Warburger Strasse 100, D-33098 Paderborn, DEU) ,  KARLA GUTIERREZ Z-b (Physics Fac. - ICTM, Univ. of Havana, Colina Universitaria, C.P. 10400, Havana, Cuba) ,  DE MELO Osvaldo (Physics Fac. - ICTM, Univ. of Havana, Colina Universitaria, C.P. 10400, Havana, Cuba) ,  WOGGON Ulrike (Technische Universitaet Berlin, Inst. fuer Optik und Atomare Physik, Strasse des 17. Juni 135, D-10623 Berlin, DEU) ,  SCHIKORA Detlef (Dep. Physik, Universitaet Paderborn, Warburger Strasse 100, D-33098 Paderborn, DEU) ,  LISCHKA Klaus (Dep. Physik, Universitaet Paderborn, Warburger Strasse 100, D-33098 Paderborn, DEU)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 312  号： 11  ページ： 1807-1812  発行年： 2010年05月15日 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CdSeエピタキシャル層の等温閉鎖空間昇華成長において,セレン-テルル(SeTe)混合源の使用を考察した。ヘリウム流中で温度350~410°Cで,基板を混合SeTe源の蒸気と元素Cdに連鎖的に曝すことによって,エピタキシャル成長を行った。混合源(Seの分圧を下げるために提唱した)にもかかわらず,テルルの混入は少なく,CdSe_xTe_1-x(x~0.98)エピタキシャル層を得た。主として立方晶の相の(111)小面上に六方晶の包有物が存在することを,X線回折の逆空間マッピングによって示した。黒鉛るつぼの混合源に曝した領域への物質の堆積,Cd源の汚染,大きい成長速度は,黒鉛を経由するセレンの輸送過程の存在を示唆している。この輸送は,黒鉛上へのセレンの堆積とそれに続くカドミウム暴露下でのセレンの活性化脱着の組合せの結果と考えられる。それは,Cd源の純度と成長の動的過程に影響をおよぼし,通常の原子層成膜の修正をもたらす。しかし,エピタキシャル層の再現性のある成長速度を得た。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *セレン化カドミウム ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *エピタクシー ,  物理蒸着 ,  温度依存性 ,  反射スペクトル ,  Ramanスペクトル ,  フォノン ,  光学モード ,  結晶構造 ,  X線回折 ,  昇華

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： セレン ,  CdSe ,  閉鎖空間 ,  昇華 ,  成長