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J-GLOBAL ID：201002217028950898   整理番号：10A1486398

Al0.3Ga0.7N/GaN HEMT構造ウエハーの時間の経過によるシート抵抗体の増加の解析

An analysis of the increase in sheet resistance with the lapse of time of Al0.3Ga0.7N/GaN HEMT structure wafers

著者 (9件)： KIKAWA J ,  YAMADA T ,  TSUCHIYA T ,  KAMIYA S ,  KOSAKA K ,  HINOKI A ,  ARAKI T ,  SUZUKI A ,  NANISHI Y
資料名： PHYSICA STATUS SOLIDI C - CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 4 NO 7 2007
巻： 4  号： 7  ページ： 2678-2681  発行年： 2007年 
JST資料番号： O5366A  ISSN： 1610-1634  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： GaN ,  HEMT ,  ウエハー ,  抵抗体 ,  解析