抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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CIGS化合物系薄膜太陽電池用のメカニカルパターニング装置について述べた。CIGS太陽電池の製造工程には,ソーダガラス基板上に成膜された発電層にパターニングによって溝を形成する工程が含まれている。形成された溝が絶縁物となり,残された部分が太陽電池セルとして光を吸収し,発電を行うデバイスとなる。そのパターニングには,メカニカルパターニングとレーザパターニングがあるが,TCO層のパターニングには,現在メカニカルパターニングが標準的に使用されている。本メカニカルパターニング装置は,従来のものに比べて膜剥がれがほとんどなく,狭い線幅での高精度パターニングが可能となった。