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J-GLOBAL ID：201002218033331957   整理番号：10A0495900

Au-,Pt-,およびPd-ドープカーボン薄膜の電気的特性と機械的特性

Electrical and Mechanical Characteristics of Au-, Pt-, and Pd-Doped Carbon Thin Films

著者 (3件)： YABE Mitsunori (Nihon Automobile Coll., Narita-shi, JPN) ,  UMEMURA Shigeru (Chiba Inst. of Technol., Narashino-shi, JPN) ,  HIRONO Shigeru (MES AFTY Corp., Hachioji-shi, JPN)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E93-C  号： 4  ページ： 527-530  発行年： 2010年04月01日 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ドーピングにより導電性で耐摩耗性のカーボン薄膜を達成するため,筆者等はRfスパッタリングによりAu-,Pt-,およびPd-ドープカーボン薄膜を蒸着し,ドーパント濃度,抵抗,およびスクラッチ硬度を評価した。このドープした薄膜の中で,低いPt濃度のPt-ドープ薄膜が実際的観点から最も適当であった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *炭素材 ,  *薄膜 ,  ドーピング ,  電気抵抗 ,  引かき硬さ ,  *イオン注入 ,  耐摩耗性 ,  *導電性
準シソーラス用語： *カーボン薄膜 ,  ドープ ,  引かき硬度

分類 (1件)： 導体材料  (NA04020L)

引用文献 (11件)：

• GRILL, A. Review of the tribology of diamond-like carbon. Wear. 1993, 168, 143-153
• HIRONO, S. Superhard conductive nanocrystallite films. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 425-427
• SCHIFFMANN, K. Microwear experiments on metal-containing amorphous hydrocarbon hard coatings by AFM : Wear mechanisms and models for the load and time dependence. Wear. 1998, 216, 27-34
• HAYASHI, T. Magnetic thin films of cobalt nanocrystals encapsulated in graphite-like carbon. Nature. 1996, 381, 772-774
• YOU, T. An amperometric detector formed of highly dispersed Ni nanoparticles embedded in a graphite-like carbon film electrode for sugar determination. Anal. Chem. 2003, 75, 5191-5196

タイトルに関連する用語 (7件)： Au ,  Pt ,  Pd ,  ドープ ,  カーボン薄膜 ,  電気的特性 ,  機械的特性