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J-GLOBAL ID：201002218944308766   整理番号：10A1101293

コロナ帯電処理を用いたガラスへの情報記録-フォトレジストの適用可能性検討と記録メカニズムの考察-

著者 (6件)： 酒井大輔 (産業技術総合研) ,  内田江美 (産業技術総合研) ,  原田建治 (北見工大) ,  茨田大輔 (産業技術総合研) ,  茨田大輔 (宇都宮大) ,  福田隆史 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 71st  ページ： ROMBUNNO.15P-NK-4  発行年： 2010年08月30日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *コロナ放電 ,  帯電 ,  ソーダ石灰ガラス ,  データ蓄積 ,  光学記録 ,  記録 ,  情報 ,  *フォトレジスト ,  機構 ,  *可能性 ,  光応答性高分子 ,  Arレーザ ,  露光 ,  光干渉 ,  現像 ,  型 ,  周期構造 ,  光学的性質 ,  電場効果 ,  変調構造 ,  選択腐食 ,  フォトマスク ,  共焦点レーザ顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： データ記録 ,  テンプレート【型】 ,  フォトマスクパターン ,  メカニズム ,  選択エッチング ,  *適用可能性

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ホログラフィーの応用  (BD03074U) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (6件)： コロナ帯電 ,  ガラス ,  情報記録 ,  フォトレジスト ,  適用可能性 ,  メカニズム