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J-GLOBAL ID：201002219013746928   整理番号：10A0496178

ピコ秒レーザを用いた金属金型の直接微細パターン加工

Direct micro-pattern machining of metal molds using pico-second lasers

著者 (1件)： FUJIMAKI S. (Toshiba Machine CO., LTD., Shizuoka, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7585  ページ： 75850G.1-75850G.7  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スポットが十分に小さい超短パルスレーザを用いることで,微細パターンを形成した金属金型を作製できる。本論文ではレーザ加工装置とその装置を用いて作製した種々の構造を示した。装置はピコ秒,Nd:YVO₄レーザ,ビーム拡張器,ガルバノ走査装置,f-θレンズ,XY卓,制御装置からなる。無酸素銅の上にV溝とR溝を形成した。また,冷間工具鋼SKD11やニッケル金属上に正方形のポケットや円形の窪みを作製し,電子顕微鏡で観察した。

シソーラス用語： *レーザパルス ,  ピコ秒 ,  *マイクロマシニング ,  *レーザ加工 ,  パターン形成 ,  表面 ,  電子顕微鏡観察 ,  表面構造 ,  金型
準シソーラス用語： 金属表面

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ピコ秒レーザ ,  金型 ,  微細パターン