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J-GLOBAL ID：201002219018885675   整理番号：10A0205087

白色干渉計測技術 白色干渉法から離散型多波長干渉法への発展=参照面の走査を必要としない白色干渉法=

著者 (1件)： 佐々木修己 (新潟大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 21  号： 3  ページ： 24-27  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 白色干渉法は古くから用いられている光干渉法ではあるが,多くの波長の光で生じている干渉信号の総和として白色干渉法の干渉信号が得られていることに注目すると,近年研究が進められている光周波数コム干渉法や波長走査干渉法との関係が明らかになってくる。本稿では,光周波数コム干渉法,および逆伝搬多波長干渉法を参照面の走査を必要としない白色干渉法と捉えて,これらの干渉法を白色干渉法と比較しながら,原理と測定結果について述べた。光周波数コム干渉法では,干渉信号の振幅だけを用いて厚さ140μmのガラス膜形状の測定を数μm程度の精度で行った。逆伝搬多波長干渉法では,数nmの高精度で,1mmの大きな段差幅をもつ鏡面形状,および厚さ170μmのガラス膜の表面及び裏面の形状を測定した。

シソーラス用語： *光干渉法 ,  周波数 ,  *形状測定 ,  ガラス ,  多波長レーザ
準シソーラス用語： 光周波数コム

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 白色 ,  干渉計測 ,  白色干渉法 ,  多波長 ,  干渉法 ,  発展 ,  参照面 ,  走査