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J-GLOBAL ID：201002219196563770   整理番号：10A0533505

熱電対を用いた原子状酸素の再結合係数測定装置の開発

Measurement of Recombination Coefficient of Atomic Oxygen

著者 (5件)： 権藤麻衣子 (株式会社アルバック筑波超材料研究所) ,  石榑文昭 (株式会社アルバック筑波超材料研究所) ,  稲吉さかえ (株式会社アルバック筑波超材料研究所) ,  三浦豊 (株式会社アルバック電子機器事業部) ,  小方誠司 (株式会社アルバック半導体電子技術研究所)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 53  号： 4  ページ： 288-290 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Grubbsらによる原子状水素の再結合係数を測定する手法を参考に,温度センサーの熱バランスから原子状酸素の再結合係数を測定する装置を開発した。試作した測定装置で,石英ガラスおよび化学研磨したアルミニウム合金A5052材の再結合係数γ₀を測定した。温度センサー部をプラズマから見えない位置に設置する装置構成とし,温度センサーは,熱電対をNi箔に点溶接したものを用いることにより,プラズマ源の熱輻射による温度上昇を無視でき,安定した温度測定が可能となった。ニップル形状のサンプルを用いて石英ガラス,ALpika処理したアルミニウム合金A5052の酸素の再結合係数を測定し,それぞれ1.94×10^-4,3.75×10^-3という値を得た。石英ガラスサンプルでの再結合係数は流速に依存し,そのばらつきは±41.8%であった。今後解析手法を検討する予定である。

シソーラス用語： 熱電対 ,  *原子 ,  *再結合 ,  *計測 ,  石英ガラス ,  化学研磨 ,  *アルミニウム合金 ,  JIS【規格】 ,  *酸素
準シソーラス用語： A5052

分類 (1件)： その他の無触媒反応  (CB06070U)

引用文献 (6件)：

• 1) R. K. Grubbs and S. M. George: J. Vac. Sci. Tech. A, 24 (2006) 486.
• 2) Y. C. Kim and M. Boudart: Langmuir, 7 (1991) 2999.
• 3) M. R. Carruth, Jr., R. F. Dehayne, J. K. Norwood and A. F. Whitaker: Rev. Sci. Instrum, 61 (1990) 1221.
• 4) N. Tsuji, T. Akiyama and H. Komiyama: Rev. Sci. Instrum, 66 (1995) 5450.
• 5) S. J. Harris and A. M. Weiner: J. Appl. Phys., 74 (1993) 1022.

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱電対 ,  原子状酸素 ,  測定装置 ,  開発