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J-GLOBAL ID：201002219393558240   整理番号：10A0761778

摩擦試験でのSiを含むダイアモンドライクカーボン膜に対する硬度増大の影響

Effect of increasing hardness on Si-containing diamond-like carbon film during tribo-test

著者 (4件)： KIM S.g. (Surface Technol. and Heat Treatment R&D Dep., Korea Inst. of Industrial Technol., 7-47, Songdo-Dong, Yeonsu-Gu ...) ,  KIM S.w. (Surface Technol. and Heat Treatment R&D Dep., Korea Inst. of Industrial Technol., 7-47, Songdo-Dong, Yeonsu-Gu ...) ,  SAITO N. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Nagoya Univ., 464-8603, JPN) ,  TAKAI O. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Nagoya Univ., 464-8603, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 7-9  ページ： 1017-1020  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,硬度と密着性向上の目的で,シリコン-DLC膜を500°Cで化合物層が無い同一チャンバー内でプラズマ増強化学気相輸送法により特別に処理を行った。異なるレベルのシリコン濃度がシリコン-DLC膜に与える影響を,ボールオンディスク摩擦計を用いて室温および相対湿度の空気条件において調べた。摩擦試験後,シリコンDLC試験表面上のラマン分光分析は表面の変化した構造を示した。特に,摩擦試験後TMSガス速度の増大に比例して硬度値の増大を示した。同時に,I_D/I_G値はシリコンを含むDLC表面の摩擦痕上のより高いGピーク値と位置を大きくした。それ故,コーティングしたDLC表面構造は,摩擦試験した表面と元の表面との間で変化した。高いシリコン濃度のDLCは,摩擦試験後,I_D/I_G値の突然の上昇を伴う増大を示した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ダイヤモンド ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *DLC膜 ,  ケイ素 ,  ドーパント ,  トライボロジー ,  摩耗試験 ,  摩擦試験 ,  濃度依存性 ,  硬度 ,  鉱石 ,  宝石

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 摩擦試験 ,  Si ,  硬度