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J-GLOBAL ID:201002219686253923   整理番号:10A0369474

化学薬品を使用しないメタライゼーション及びコーティング

Chemiefreie Metallisierung und Beschichtung
資料名:
巻: 51  号:ページ: 16-17  発行年: 2010年03月 
JST資料番号: H0357B  ISSN: 1422-3511  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: スイス (CHE)  言語: ドイツ語 (DE)
抄録/ポイント:
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化学薬品を使用しないでほとんど全ての材料にメタライゼーション及びコーティングができるRheinhausenプラズマ社製薄膜成長設備”Plasumadust”を紹介した。超微粉末(径0.1~20μm)及び低温プラズマを利用するプラズマデポジション方式で薄膜を形成させ,環境を汚染せずに優れた特性の薄膜を経済的に成長できる。150m/minの処理速度で1~100μm厚の薄膜を形成でき,太陽電池の配線やフレキシブルプリント配線等に広い用途がある。
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分類 (2件):
分類
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気相めっき  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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