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J-GLOBAL ID：201002219761680905   整理番号：10A1008683

電気二重層キャパシタを利用した超小型・超高速応答電動ダイレクトダイヤフラムバルブ(ECV)の開発

著者 (2件)： 平田薫 (フジキン 大阪ハイテック研究創造開発セ) ,  西野功二 (フジキン 大阪ハイテック研究創造開発セ)
資料名： ながれとともに ながれをこえて  (ながれをこえて)
巻： 8  ページ： 18-21  発行年： 2010年07月18日 
JST資料番号： L5270A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 多品種少量生産に効率的に対応してシングルチャンバ/マルチプロセスを実現する(株)フジキンの電気二重層キャパシタを利用した超小型・超高速応答電動ダイレクトダイヤフラムバルブ(ECV)を紹介した。これにより空圧弁における駆動部への気体の充填・放出という伝搬遅延時間を省くことができ,バルブ開閉に要する時間が従来の空圧弁に比較して約1/20の5msec以下にできた。開発当時のECVは可動鉄心をソレノイドに通電・遮電してバルブを開閉していたが,比較的大きな電流を必要とした。この専用電源を小型化,省スペース化するため,特殊な活性炭を使用した低内部抵抗の電気二重層キャパシタを本体に内蔵させて,この問題を解決した。400万回の開閉耐久試験の結果,シートシール性,Cv特性には変化がなく高耐久性が確認された。なお,本バルブは半導体製造以外でも応用が可能である。

シソーラス用語： *電力コンデンサ ,  小型 ,  応答 ,  *ダイヤフラム弁 ,  弁 ,  時間 ,  磁心 ,  ソレノイド形コイル ,  小型化 ,  活性炭 ,  耐久試験 ,  応答時間
準シソーラス用語： 可動鉄心 ,  空圧弁 ,  遅延時間 ,  超高速応答 ,  超小型 ,  伝搬遅延時間 ,  *電気二重層キャパシタ ,  *電動ダイレクトダイヤフラムバルブ

分類 (1件)： 配管材料,弁  (QD05020E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気二重層キャパシタ ,  高速応答 ,  ECV ,  開発