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J-GLOBAL ID：201002219876382126   整理番号：10A0556590

モノリシックマイクロガスクロマトグラフィの分離コラムと検出器

MONOLITHIC MICRO GAS CHROMATOGRAPHIC SEPARATION COLUMN AND DETECTOR

著者 (3件)： KAANTA Bradley (Boston Univ., MA, USA) ,  CHEN Hua (Schlumberger-Doll Res., MA, USA) ,  ZHANG Xin (Boston Univ., MA, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 23rd Vol.2  ページ： 907-910  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 初めてのモノリシックマイクロガスクロマトグラフィ(GC)の分離コラムと検出器の設計,製造,運転について述べた。本モノリシック製造プロセスはマイクロ分離コラムと高感度熱伝導度検出器(TCD)を1個のチップの上に同時に作るものである。これに対する微細加工のプロセスを開発した。部品のシールはPyrexカバーで行い,キャピラリチューブで流体的な接続を行った。性能試験を窒素,メタン,2酸化炭素,エタンが混合したガスについて行った。その結果,化合物間の識別が明確に行うことが可能であった。さらに改良を続け,統合的なデバイスとして発展できる。

シソーラス用語： *柱 ,  *ガスクロマトグラフィー ,  時間 ,  MEMS ,  検出器 ,  微細加工
準シソーラス用語： コラム ,  モノリシックガスクロマトグラフィ ,  熱伝導検出器 ,  *分析時間

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガスクロマトグラフィー  (CC04013U)

タイトルに関連する用語 (2件)： コラム ,  検出器