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J-GLOBAL ID:201002220903280886   整理番号:10A0658572

非対称ブロック共重合体の超薄膜における粗さ相関及びナノドメイン秩序に対する膜不安定性の影響

Effects of Film Instability on Roughness Correlation and Nanodomain Ordering in Ultrathin Films of Asymmetric Block Copolymers
著者 (3件):
資料名:
巻: 43  号: 11  ページ: 5016-5023  発行年: 2010年06月08日 
JST資料番号: B0952A  ISSN: 0024-9297  CODEN: MAMOBX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ポリ(スチレン-b-メタクリル酸メチル)(P(S-b-MMA))超薄膜の挙動について検討した。以下の3種類の基材を用意した。1)ケイ素基材(SiOx/Si),2)ケイ素基材上に末端グラフトPMMAをスピンコートしたもの(PMMA-SiOx/Si),3)ケイ素基材上にPSブラシをスピンコートしたもの(PS-SiOx/Si)。これらの基材上にP(S-b-MMA)超薄膜をスピンコートにより調製した。脱濡れを誘起するため,1°C/分の加熱速度での30から245°Cへの非等温アニーリングを行った。P(S-b-MMA)超薄膜の特性を,光学顕微鏡(OM)観察,原子間力顕微鏡(AFM)観察,X線反射率測定,微小角入射X線小角散乱(GISAXS)などにより評価した。検討の結果,表面厚みの凹凸に関して,通約性が成就され,レリーフ構造は平滑な表面及び秩序円筒状ナノドメインを有することが分かった。それらの界面は同一の表面粗さを有したが,粗さ輪郭と相関しなかった。相対的に,P(S-b-MMA)濡れ層は,アニーリング後相関粗さを示すことなどが明らかになった。
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分類 (2件):
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有機化合物の薄膜  ,  高分子固体のその他の性質 

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