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J-GLOBAL ID：201002221408529572   整理番号：10A0333983

ナノ結晶から多結晶へのダイヤモンド膜の成長におよぼす窒素添加物と温度の役割

Role of Nitrogen Additive and Temperature on Growth of Diamond Films from Nanocrystalline to Polycrystalline

著者 (10件)： TANG Chunjiu (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  JOSE Gracio (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  NEVES A. J. (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  HUGO Calisto (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  FERNANDES A. J. S. (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  FU Lianshe (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  SERGIO Pereira (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  GU Liping (Changshu Inst. Technol., Changshu, CHN) ,  GIL Cabral (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT) ,  CARMO M. C. (Univ. Aveiro, Aveiro, PRT)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 10  号： 4  ページ： 2722-2730  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大型結晶粒多結晶から微細結晶粒ナノ結晶までのダイヤモンド成長におよぼすCH₄/H₂混合への窒素添加と表面温度の効果を調べた。中量のN₂添加,高マイクロ波パワー3000W,高圧105Torr H₂中4%メタンと基板表面温度~750°C°の条件で,高品質大型結晶粒多結晶ダイヤモンド膜が実現した。径が5.08cmの大型シリコンウエハ状に小型シリコンスライスを重ねて,一回の蒸着で2種類の基板温度を実現した。低温成長ナノ結晶膜と高温成長{100}組織の大型結晶粒ダイヤモンド膜を同時に得ることができた。両シリコン基板の温度分布を有限要素解析でシミュレートした。得られた温度勾配と分布から,窒素添加と温度がダイヤモンド結晶粒形態におよぼす連合効果を論じた。

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  窒素 ,  基板温度 ,  水素 ,  ケイ素 ,  集合組織 ,  *ダイヤモンド ,  結晶粒 ,  *ナノ結晶 ,  *多結晶 ,  アルカン

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノ結晶 ,  多結晶 ,  ダイヤモンド膜 ,  成長 ,  窒素添加 ,  役割