抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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高エネルギーレーザ用光学部品は,レーザ損傷しきい値を高くする為に,極めて純度の高いコーティング材料を使う。単一波長で入射角度を狭い範囲に限定して設計された光学部品は,非常に高いレーザ損傷しきい値と,最良の反射率や透過率を得る。コーティングの種類は,超硬コーティング・耐久コーティング・低分散コーティングがある。レーザ損傷が発生する基本的メカニズムは,電子雪崩・ブリリュアン散乱・熱による損傷である。外観表面品質は,目視で観察される表面欠陥レベルをいう。研磨状態・スクラッチ&ディグ許容量・エッジ部状態などを示す。必要以上に厳しく品質を規定するとコストアップになるので,製品の応用分野毎に規定している。