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J-GLOBAL ID：201002222007278670   整理番号：10A0496151

体積型Fresnelゾーンプレートのフェムト秒レーザによる直接描画

Femtosecond Laser Direct Writing of Volume Fresnel Zone Plates

著者 (3件)： SRISUNGSITTHISUNTI Pornsak (Purdue Univ., Indiana) ,  ERSOY Okan K. (Purdue Univ., Indiana) ,  XU Xianfan (Purdue Univ., Indiana)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7584  ページ： 75840V.1-75840V.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザを用いた高回折効率の体積型Fresnelゾーンプレート(VFZP)の直接描画方法を記述した。このVFZPは光をコヒーレントに単一スポットに集束させるよう設計した多数のFresnelゾーンプレート層からなる。作製した低開口数(NA)のVFZPの回折効率は71.5%まで増加し,高NA体積型ゾーンプレートの回折効率は4%から7%へと改善された。VFZPのシミュレーションのための正確で効率的な数値計算法を提示した。Hankel変換ビーム伝搬法(Hankel BPM)を用いたシミュレーション結果は,VFZPの種種の設計についての解析に有用なRayleigh-Sommerfeld積分と良く一致した。得られた結果から,スカラー回折理論と実験結果との優れた一致が示された。数値計算により高回折効率を実現するためのVFZPパラメータのより包括的検討が可能となった。

シソーラス用語： *ゾーンプレート ,  *パルスレーザ ,  *レーザリソグラフィー ,  回折効率 ,  開口数 ,  計算機シミュレーション ,  Hankel変換 ,  スカラー場 ,  数値計算 ,  レーザ加工 ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *Fresnelゾーンプレート ,  ビーム伝搬法 ,  *レーザ直接描画

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  レーザ一般  (BD04030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 体積 ,  Fresnelゾーンプレート ,  フェムト秒レーザ ,  直接描画